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氣體流量控制器:基于層流壓差原理的專業解析

2025-01-15 15:44:30
本文關鍵字:氣體流量控制器,質量流量計

氣體流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)是一種用于精確控制氣體流量的關鍵設備,廣泛應用于半導體制造、化學工藝、生物醫藥以及環保等領域。其工作原理和性能表現直接決定了相關工藝的效率與質量。浦卓測控作為國內首家完全國產自研的MFC制造商,以其卓越技術和產品性能成為行業的領導者。小編從專業視角詳細解析基于層流壓差原理的MFC核心技術、工作機制及易度智能MFC的產品優點。

1. 層流的基本特性

層流是氣體在低雷諾數條件下的穩定流動狀態,在層流狀態下,氣體的流量與壓差成正比。這一特性為層流壓差式氣體流量控制器的設計提供了理論基礎。

2. 壓差式測量的實現

層流壓差式MFC通過以下關鍵組件實現流量測量:

層流元件:精密的機械結構確保氣體在通過時保持層流狀態。

壓差傳感器:自研高靈敏傳感器實時測量層流元件兩端的壓差值。

計算方式:測量出壓差后就可以根據標定數據獲得工況流量和質量流量。

智能層流質量流量計及控制器的核心優勢

3. 完全國產自研

浦卓測控是國內首家獲得層流壓差式CPA資質批準證書的企業,并且是全球第二家有能力生產通用型層流質量流量計的制造商。其產品填補了國內高端市場的技術空白,具備完全平替進口高端設備的能力。

4. 高精度與高穩定性

量程范圍廣:高精型產品覆蓋0.1sccm至5000slpm的量程需求,適應多樣化的工況場景。

測控精度:高精型產品測量誤差控制在±0.5%讀數精度以內,重復性達到±0.1%,在行業中處于領先水平。

溫度壓力補償:內置溫度傳感器和壓力傳感器,通過實時修正,保證不同環境條件下的精確測量。

5. 嚴苛的質量保障

核心部件自主研發:所有關鍵組件均為自主設計與制造,確保質量可控,可根據需求靈活定制產品。

疲勞與耐久測試:每款產品需通過數千萬次疲勞測試,確保長期穩定運行。

廣泛氣體兼容性:內置70+種氣體及混合氣體數據庫,用戶可根據工藝需求快速適配多種氣體,開機即測,無需轉換系數。

基于層流壓差原理的氣體流量控制器以其高精度、快速響應和可靠性在工業領域中占據重要地位。易度智能作為行業領軍者,以完全國產自研、全球領先的技術和高可靠性產品,為更多行業提供了可靠的解決方案。


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